Is trealamh ríthábhachtach iad meaisíní liteagrafaíochta EUV i ndéantúsaíocht sliseanna nua -aimseartha, agus is é ceann dá bpríomh -fhochórais an léasar - Foinse Solais EUV. Roimhe seo, bhí an margadh domhanda don fhoinse seo ag brath go príomha ar léasair CO2 a rinne Cymer, cuideachta SAM. Spreagann na léasair seo plasmas SN le héifeachtúlacht tiontaithe fuinnimh (CE) níos mó ná 5%, agus feidhmíonn siad mar fhoinse solais tiomána do mheaisíní liteagrafaíochta ASML. Faoi láthair is é ASML an t -aon mhonaróir meaisín liteagrafaíochta ar fud an domhain atá in ann foinsí solais EUV a úsáid, ag cothabháil sciar den mhargadh 100% sa réimse seo. Mar sin féin, mar gheall ar rialuithe onnmhairithe a fhorchuireann Roinn Tráchtála na Stát Aontaithe ar an tSín, tá toirmeasc ar ASML agus ar chuideachtaí sliseanna eile gearrtha a dhíol - samhlacha liteagrafaíochta EUV go dtí an tSín ó 2019 i leith, ag cur bac mór ar fhorbairt thionscal sliseanna na Síne.
Ach ní raibh taighdeoirí na Síne faoi deara. Tar éis blianta d'obair chrua, rinne foireann Lin Nan ceannródaíocht ar chur chuige nua, ag baint úsáide as solad - Léasair bíoga stáit in ionad léasair CO2 mar fhoinse solais tiomána. Faoi láthair, tá uas -éifeachtúlacht tiontaithe 3.42%bainte amach ag léasair stáit 1µm na foirne -. Cé nach bhfuil sé níos mó ná 4% fós, sáraíonn sé feidhmíocht na bhfoirne taighde san Ísiltír agus san Eilvéis agus tá sé leath an éifeachtúlachta comhshó 5.5% d'fhoinsí solais tráchtála. Measann taighdeoirí go bhféadfadh éifeachtúlacht chomhshó teoiriciúil an ardáin thurgnamhach foinse solais dul i ngleic le 6%, le poitéinseal feabhsú breise sa todhchaí. Foilsíodh na torthaí taighde ábhartha le déanaí ar chlúdach eagrán 2025 de chuid China Laser Magazine, Eagrán 6 (deireadh mhí an Mhárta).
Tugann Lin Nan, údar comhfhreagrach an pháipéir seo, tacaíocht láidir don ghnóthachtáil seo lena chúlra taighde agus a shaineolas. He is currently a researcher and doctoral supervisor at the Shanghai Institute of Optics and Precision Mechanics, Chinese Academy of Sciences, a National Overseas High-Level Talent, Deputy Director of the National Key Laboratory of Ultra-Intense Laser Science and Technology, Chief Technical Officer of the Precision Optical Engineering Department, and a member of the Integrated Circuit Branch of the Chinese Instrument Society and the Micrea - Coiste Nano Chumann Innealtóireachta Optúil na Síne. D'oibrigh Lin Nan roimhe seo mar eolaí taighde agus ansin mar cheann na teicneolaíochta foinse solais sa roinn T&F ag ASML san Ísiltír. Tá breis agus deich mbliana de thaithí aige i dtaighde, i bhforbairt tionscadal innealtóireachta, agus i mbainistiú mór - trealamh déantúsaíochta agus tomhais ciorcaid comhtháite. Rinne sé iarratas ar os cionn 110 paitinn idirnáisiúnta sna Stáit Aontaithe, sa tSeapáin, sa Chóiré Theas, agus i dtíortha eile, a ndearnadh cuid mhaith díobh a thráchtálú agus a ionchorprú sna meaisíní liteagrafaíochta is déanaí agus sa trealamh méadreolaíochta. Bhain sé céim amach ó Ollscoil Lund sa tSualainn, áit a ndearna sé staidéar ar bhuaiteoir Duais Nobel 2023 san Fhisic Anne L'A Huillier. Fuair sé comhchéim dochtúireachta freisin ó Pháras - Ollscoil Saclay agus an Ghníomhaireacht Fuinnimh Adamhach na Fraince, agus rinne sé taighde iardhochtúireachta ag Eth Zurich san Eilvéis.
I mí Feabhra na bliana seo, d'fhoilsigh foireann Lin Nan páipéar clúdaigh sa tríú eagrán den iris "Progress in Lasers and Optoelectronics", ag moladh scéim ghiniúna éifeachtach éadrom ultraivialait leathanbhanda bunaithe ar phlasma stáin léasair atá teoranta go spásúil, ar féidir é a úsáid le haghaidh ardcháilithe. D'éirigh leis an scéim éifeachtúlacht tiontaithe suas le 52.5%a bhaint amach, arb é an éifeachtúlacht tiontaithe is airde a tuairiscíodh sa bhanda ultraivialait mhór go dtí seo. I gcomparáid leis an ard -thráchtála faoi láthair {- Ordú Foinse Solais Armónaigh, feabhsaítear an éifeachtúlacht tiontaithe faoi 6 ordú méide, ag soláthar níos mó tacaíochta teicniúla don leibhéal tomhais liteagrafaíochta baile.
Tá an t -ardán soladach - léasair stáit - bunaithe ar fhorbairt ag foireann Lin Nan ar leithligh ón teicneolaíocht CO2 {- a úsáidtear i dtrealamh liteagrafaíochta tionsclaíoch ASML. Deir an páipéar, "Fiú amháin le héifeachtúlacht tiontaithe de 3%amháin, soladach {- Léasair Stáit - LPP - is féidir le foinsí EUV cumhacht leibhéal a sheachadadh, rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach le haghaidh fíorú nochta EUV agus cigireacht masc." I gcodarsnacht leis sin, tá léasair thráchtála CO2, cé go bhfuil cumhacht ard {-, toirtiúil, tá éifeachtúlacht chomhshó optúil íseal (níos lú ná 5%), agus costais ard oibriúcháin agus cumhachta. Ar an láimh eile, tá dul chun cinn tapa déanta ag solad - Léasair Pulsed, ar an láimh eile, le deich mbliana anuas, ag baint amach aschuir chumhachta ar leibhéal cileavata faoi láthair agus táthar ag súil go sroichfidh siad níos mó ná 10 n-uaire sa todhchaí.
Cé go bhfuil taighde ar sholad - léasair stáit {- faoi thiomáint tá foinsí plasma EUV fós sna céimeanna luatha turgnamhacha agus tá sé fós ag teacht ar thráchtálú iomlán, chuir torthaí taighde Lin Nan tacaíocht theicniúil ar fáil d'fhorbairt intíre na bhforbairt intíre {}}} Laser} {} {}} {}} {}} {}} {}} {}} {}} {} {}} {}} {}} {}}} {{ Far {- ag baint tábhacht le taighde agus forbairt neamhspleách na Síne ar liteagrafaíocht EUV agus ar a phríomh -chomhpháirteanna agus a theicneolaíochtaí.
Le linn glao ar chomhdháil infheisteoirí an mhí seo, dúirt ASML CFO Roger Dassen go raibh sé ar an eolas faoi dhul chun cinn na Síne i dteicneolaíocht athsholáthair liteagrafaíochta agus d'admhaigh sé go bhfuil an poitéinseal ag an tSín foinsí solais EUV a tháirgeadh. Mar sin féin, chreid sé fós go dtógfadh sé blianta fada go dtógfadh sé trealamh liteagrafaíochta EUV chun cinn. Mar sin féin, tá na hiarrachtaí gan staonadh agus na cinn leanúnacha atá ag taighdeoirí na Síne ag briseadh an ionchais seo de réir a chéile. In 2024, bhain ASML glan -díolacháin de € 28.263 billiún amach, in aghaidh na bliana - ar - méadú bliana de 2.55%, ag leagan taifead nua. Ba í an tSín an margadh ba mhó a bhí aici, le díolacháin de € 10.195 billiún, agus b'ionann sin agus 36.1% dá ioncam domhanda. Fiú amháin i gcomhthéacs na rialuithe agus na dtaraifí onnmhairithe leathsheoltóra reatha, tá ASML ag súil go mbeidh díolacháin sa tSín ina gcuntas ar beagán os cionn 25% dá ioncam iomlán in 2025.
